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Die Grafik zeigt die Anwendungsbereiche des MLase Excimer Lasers

MLI Excimer Laser

Die Geräte der MLI Serie bieten Excimerlaser mit direkter Wellenlänge für industrielle Anwendungen an. Selbstverständlich können die Basisgeräte bei Bedarf individuellen Bedürfnissen angepasst werden.

Individuelle Komponenten

MLI-200 / 500 / 1000 Excimer Laser

Die modernen, kompakten Excimerlaser der MLI-Serie von MLase sind UV-Lichtquellen bei 193 nm oder 248 nm mit hohen Pulsenergien bis 16 mJ und Repetitionsraten bis 1.000 Hz

Stand-Alone-Geräte mit der höchsten auf dem Markt erhältlichen Standzeit und Zuverlässigkeit und den niedrigsten Betriebskosten. Für anspruchsvolle Anwendungen geeignet durch homogenes Strahlprofil und Energiestabilisierung.

Die Excimerlaser mit dem Zusatz LC verfügen zusätzlich über die Möglichkeit der aktiven Wasserkühlung (über Hauswasser, oder externen Wärmetauscher; kein DI-Wasser) für stabilen Dauerbetrieb.

Sieben Excimer Laser stehen auf Rollwagen

MLI-200 / 500 / 1000 Excimer Laser

ParameterArF
ArFArFKrF
KrF
KrF
Wellenlänge (nm)
193193193248248248
Repititionsrate (Hz)
20050010002005001000
Stabilisierte
Pulsenergie (mJ)
666101010
Stabilisierte mittlere Leistung (W)
1,23,06,02,05,010
Pulsstabilität (Sigma %)
222222
Strahlgröße (FWHM, VxHmm)
6×36×36×36×36×36×3
Strahldivergenz (FWHM, VxHmm)2×12×12×12×12×12×1
Pulslänge
5-105-105-105-155-155-15
Datenblatt Download

MLI-500 / 1000 Excimer Laser LC

Parameter
ArF
ArF
ArF
KrF
Wellenlänge (nm)
193193248248
Repititionsrate (Hz)
50010005001000
Stabilisierte Pulsenergie (mJ)661010
Stabilisierte mittlere Leistung (W)
3,06,05,010
Pulsstabilität (Sigma %)
2222
Strahlgröße (FWHM, VxHmm)
6×36×36×36×3
Strahldivergenz (FWHM, VxHmm)
2×12×12×12×1
Pulslänge
5-105-105-155-15
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