MLI Excimer Laser
Die Geräte der MLI Serie bieten Excimerlaser mit direkter Wellenlänge für industrielle Anwendungen an. Selbstverständlich können die Basisgeräte bei Bedarf individuellen Bedürfnissen angepasst werden.
Individuelle Komponenten
MLI-200 / 500 / 1000 Excimer Laser
Die modernen, kompakten Excimerlaser der MLI-Serie von MLase sind UV-Lichtquellen bei 193 nm oder 248 nm mit hohen Pulsenergien bis 16 mJ und Repetitionsraten bis 1.000 Hz
Stand-Alone-Geräte mit der höchsten auf dem Markt erhältlichen Standzeit und Zuverlässigkeit und den niedrigsten Betriebskosten. Für anspruchsvolle Anwendungen geeignet durch homogenes Strahlprofil und Energiestabilisierung.
Die Excimerlaser mit dem Zusatz LC verfügen zusätzlich über die Möglichkeit der aktiven Wasserkühlung (über Hauswasser, oder externen Wärmetauscher; kein DI-Wasser) für stabilen Dauerbetrieb.
MLI-200 / 500 / 1000 Excimer Laser
| Parameter | ArF | ArF | ArF | KrF | KrF | KrF |
| Wellenlänge (nm) | 193 | 193 | 193 | 248 | 248 | 248 |
| Repititionsrate (Hz) | 200 | 500 | 1000 | 200 | 500 | 1000 |
| Stabilisierte Pulsenergie (mJ) | 6 | 6 | 6 | 10 | 10 | 10 |
| Stabilisierte mittlere Leistung (W) | 1,2 | 3,0 | 6,0 | 2,0 | 5,0 | 10 |
| Pulsstabilität (Sigma %) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| Strahlgröße (FWHM, VxHmm) | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 |
| Strahldivergenz (FWHM, VxHmm) | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 |
| Pulslänge | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 | 5-15 |
MLI-500 / 1000 Excimer Laser LC
| Parameter | ArF | ArF | ArF | KrF |
| Wellenlänge (nm) | 193 | 193 | 248 | 248 |
| Repititionsrate (Hz) | 500 | 1000 | 500 | 1000 |
| Stabilisierte Pulsenergie (mJ) | 6 | 6 | 10 | 10 |
| Stabilisierte mittlere Leistung (W) | 3,0 | 6,0 | 5,0 | 10 |
| Pulsstabilität (Sigma %) | 2 | 2 | 2 | 2 |
| Strahlgröße (FWHM, VxHmm) | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 |
| Strahldivergenz (FWHM, VxHmm) | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 |
| Pulslänge | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 |